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普發(fā)渦輪分子泵的主要結(jié)構(gòu)說明

發(fā)布時(shí)間: 2023-12-25  點(diǎn)擊次數(shù): 428次
  普發(fā)渦輪分子泵是一種高真空泵,它采用渦輪葉輪的旋轉(zhuǎn)來產(chǎn)生氣體的吸入和排出。它在科學(xué)研究、半導(dǎo)體制造、工業(yè)生產(chǎn)等領(lǐng)域中得到廣泛應(yīng)用。其工作原理基于分子動(dòng)量傳遞和離心力。當(dāng)渦輪葉輪高速旋轉(zhuǎn)時(shí),氣體分子受到離心力的作用,從進(jìn)口處進(jìn)入葉片間隙,并在葉片之間碰撞和擴(kuò)散。由于葉片的形狀和排列,氣體分子在葉片間形成螺旋狀流動(dòng),逐漸增加速度和動(dòng)能。最終,氣體分子被抽取到渦輪葉輪的出口處,并排入真空系統(tǒng)中。
  普發(fā)渦輪分子泵的主要結(jié)構(gòu)說明:
  1、泵體:渦輪分子泵的泵體是一個(gè)密封的金屬容器,內(nèi)部是真空環(huán)境。泵體通常由不銹鋼或其他耐腐蝕材料制成,以確保泵的可靠性和耐久性。
  2、渦輪葉輪:渦輪葉輪是渦輪分子泵的核心部件。它通常由多個(gè)葉片組成,葉片之間呈螺旋狀排列。渦輪葉輪通過電機(jī)驅(qū)動(dòng)高速旋轉(zhuǎn),產(chǎn)生離心力和氣體動(dòng)能,以實(shí)現(xiàn)氣體的吸入和排出。
  3、靜態(tài)葉片:靜態(tài)葉片是渦輪分子泵中與渦輪葉輪配合工作的固定葉片。靜態(tài)葉片的形狀和排列與渦輪葉輪相匹配,用于引導(dǎo)氣體流動(dòng)和增加泵的效率。
  4、出口噴嘴:出口噴嘴位于渦輪葉輪的末端,用于將抽取的氣體排出泵體。出口噴嘴通常具有特殊的形狀和角度,以減小氣體的漏失和反向流動(dòng)。
  5、電機(jī):渦輪分子泵的電機(jī)驅(qū)動(dòng)渦輪葉輪的旋轉(zhuǎn)。電機(jī)通常位于泵體外部,通過軸連接到渦輪葉輪。電機(jī)的轉(zhuǎn)速?zèng)Q定了渦輪葉輪的旋轉(zhuǎn)速度和泵的抽取能力。
  6、控制系統(tǒng):渦輪分子泵通常配備有控制系統(tǒng),用于監(jiān)測(cè)和控制泵的運(yùn)行狀態(tài)??刂葡到y(tǒng)可以監(jiān)測(cè)電機(jī)的轉(zhuǎn)速、溫度和振動(dòng)等參數(shù),并根據(jù)需要調(diào)整泵的工作狀態(tài)。
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