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日本FUJIKIN富士金隔膜閥NEW MEGA®-ONE LA是一款適用于各種半導(dǎo)體制造設(shè)備的超高純度流體和易燃、有毒流體生產(chǎn)線的氣動(dòng)膜片閥。該閥采用直接式膜片結(jié)構(gòu)，滿足高氣密性、高耐久性、小型化、無微粒、零死角等業(yè)界標(biāo)準(zhǔn)要求。在保持原有MEGA®-ONE LA性能的基礎(chǔ)上，實(shí)現(xiàn)了小型化設(shè)計(jì)。