普發(fā)渦輪分子泵是一種高真空泵，它采用渦輪葉輪的旋轉(zhuǎn)來產(chǎn)生氣體的吸入和排出。它在科學研究、半導體制造、工業(yè)生產(chǎn)等領(lǐng)域中得到廣泛應用。其工作原理基于分子動量傳遞和離心力。當渦輪葉輪高速旋轉(zhuǎn)時，氣體分子受到離心力的作用，從進口處進入葉片間隙，并在葉片之間碰撞和擴散。由于葉片的形狀和排列，氣體分子在葉片間形成螺旋狀流動，逐漸增加速度和動能。最終，氣體分子被抽取到渦輪葉輪的出口處，并排入真空系統(tǒng)中。

　　普發(fā)渦輪分子泵的技術(shù)特點：

　　1、多種優(yōu)點

　　清潔無油蒸汽返流：渦輪分子泵在操作過程中，可以為被抽容器提供極為清潔的真空環(huán)境，且不含有碳氫化合物的污染。

　　使用方便：許多應用中，渦輪分子泵可以不用高真空或粗真空閥，只需簡單按電鈕即可開始工作。

　　氣體輸送能力強：特別對輕氣體如氫、氦有強大的輸送能力，適用于富氫的工藝過程。

　　適于超高真空應用：一臺密封和除氣良好的渦輪分子泵，配備性能良好的干式前級泵，其極限真空可達到10^-10 Torr。

　　高壓力下性能良好：有些渦輪分子泵的入口壓力可在10^-3^至10^-1^Torr之間運行。

　　循環(huán)時間短：多數(shù)渦輪分子泵，尤其是小一些的，從關(guān)閉狀態(tài)到正常運行速度的時間一般只需幾分鐘。

　　2、工作原理

　　渦輪分子泵通過動葉輪和靜葉輪交替排列，利用傾斜葉片的運動，使氣體分子從左側(cè)穿過葉片到達右側(cè)的幾率大于反向，從而產(chǎn)生抽氣作用。

　　2、高性能特點

　　壓縮比：渦輪分子泵的壓縮比與泵的級數(shù)、轉(zhuǎn)速以及氣體種類有關(guān)。例如，對氮（或空氣）的壓縮比可達10^8^至10^9^，對氫為10^2^至10^4^，對重氣體如油蒸氣則大于10^10^。

　　工作壓力范圍廣：泵的極限壓力為10^-9^帕，工作壓力范圍為10^-1^至10^-8^帕。

　　抽速大：渦輪分子泵的抽速范圍為幾十到幾千升每秒。

　　4、先進技術(shù)應用

　　磁懸浮技術(shù)：現(xiàn)代渦輪分子泵多采用磁懸浮軸承，這種軸承不用潤滑油，可實現(xiàn)完q無油化，軸承壽命長，振動與噪音低，且泵可以任意角度安裝。

　　高轉(zhuǎn)速：渦輪分子泵由轉(zhuǎn)速為10,000至60,000轉(zhuǎn)/分的中頻電動機直聯(lián)驅(qū)動。