普發(fā)氦質(zhì)譜檢漏儀是一種基于質(zhì)譜原理的檢漏儀器,由真空系統(tǒng)、氦氣充填系統(tǒng)、氣體采樣系統(tǒng)、加熱系統(tǒng)和數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)組成。檢測時,將被測物體置于真空室內(nèi),使其內(nèi)部達到所需真空度后,使用氦氣充填系統(tǒng)向被測物體外部充填氦氣,并通過氣體采樣系統(tǒng)將被測物體周圍環(huán)境中的氦氣吸入系統(tǒng)內(nèi)部。在采集過程中,加熱系統(tǒng)會對被測物體進行加熱處理,以促進任何潛在泄漏點的放大和釋放氦氣。采集到的氦氣進入真空室內(nèi)的質(zhì)譜儀中進行分析,通過檢測氦氣分子的質(zhì)量/電荷比,來確定被測物體是否存在泄漏。
1、充注檢漏氣體前必須抽空:為了正確試漏,在充注檢漏氣體(如氦氣)前將試件預抽空是完q必要的,特別是對于幾何形狀長和窄的試件尤為重要。如果未抽空直接充注,試件中的空氣可能被擠壓至幾何空間的終端,而檢漏氣體無法進入這個部位,從而漏檢一些潛在的漏孔。
2、切勿在檢漏氣體測試前使用水槽試漏:檢漏氣體測試的漏孔通常非常微小或狹長的毛細管,如果在檢漏氣體測試前將漏孔置于水槽中,這些漏孔將被水堵塞或充滿,水分從小孔中驅(qū)逐出來很困難,從而大大影響檢漏結(jié)果。
3、切勿放空或溢出檢漏氣體至試漏區(qū):試漏中的最小可檢漏率與檢漏氣體的本底濃度關系很大。高的本底濃度趨于出現(xiàn)高的絕對波動,如果在試漏后將檢漏氣體排放在試漏區(qū)內(nèi),本底濃度將不斷增高。
4、充注檢漏氣體前先檢查大漏:快速測試是否存在大漏孔,以免從大漏孔中溢出的檢漏氣體污染試漏區(qū)。檢測大漏孔的方法包括將試件抽真空并觀察是否保持抽空壓強。
5、為試漏區(qū)配備足夠的通風條件:氦氣如果泄露會像氣球一樣漂浮到試漏區(qū)的頂部,逐漸填滿整個區(qū)域。因此,從底部送入新鮮空氣并從頂部排放氣體至室外是非常重要的。
6、保證試漏方向與使用中所受壓力方向相同:許多密封件僅在一個方向有密封作用,如果試漏方向與實際使用中的壓力方向不同,可能導致漏檢或虛假報警。
7、試漏壓力與運行過程中受到的最大壓力相同:許多密封件在一定的壓力閾值下才會出現(xiàn)泄漏,如果未在實際運行的最大壓力下試漏,一些小漏孔可能不被發(fā)現(xiàn)。因此,采用較高的測試壓力可以有效檢測出實際運行中可能出現(xiàn)的漏孔。