普發(fā)氦質(zhì)譜檢漏儀是一種基于質(zhì)譜原理的檢漏儀器，由真空系統(tǒng)、氦氣充填系統(tǒng)、氣體采樣系統(tǒng)、加熱系統(tǒng)和數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)組成。檢測(cè)時(shí)，將被測(cè)物體置于真空室內(nèi)，使其內(nèi)部達(dá)到所需真空度后，使用氦氣充填系統(tǒng)向被測(cè)物體外部充填氦氣，并通過氣體采樣系統(tǒng)將被測(cè)物體周圍環(huán)境中的氦氣吸入系統(tǒng)內(nèi)部。在采集過程中，加熱系統(tǒng)會(huì)對(duì)被測(cè)物體進(jìn)行加熱處理，以促進(jìn)任何潛在泄漏點(diǎn)的放大和釋放氦氣。采集到的氦氣進(jìn)入真空室內(nèi)的質(zhì)譜儀中進(jìn)行分析，通過檢測(cè)氦氣分子的質(zhì)量/電荷比，來確定被測(cè)物體是否存在泄漏。

　　普發(fā)氦質(zhì)譜檢漏儀在使用過程中可能會(huì)遇到一些常見問題，以下是這些問題的詳細(xì)介紹及解決方法：

　　1、靈敏度低

　　原因分析：可能是由于氦氣輸送管道存在泄漏、檢漏儀保護(hù)罩安裝不正確或檢漏儀探頭的距離和角度不合適。

　　解決方法：檢查并修復(fù)氦氣輸送管道的泄漏點(diǎn)，確保檢漏儀保護(hù)罩正確安裝，調(diào)整檢漏儀探頭的距離和角度至合適位置。

　　2、檢測(cè)結(jié)果不準(zhǔn)確

　　原因分析：可能是儀器內(nèi)部存在泄漏、檢測(cè)信號(hào)受到干擾或質(zhì)譜室出現(xiàn)故障。

　　解決方法：使用噴吹法對(duì)儀器內(nèi)部的密封部位進(jìn)行檢測(cè)，找出泄漏點(diǎn)并進(jìn)行修復(fù)；排除檢測(cè)信號(hào)的干擾源；若質(zhì)譜室出現(xiàn)故障，需由專業(yè)人員進(jìn)行維修或更換相關(guān)部件。

　　3、機(jī)械泵不動(dòng)作

　　原因分析：電源電壓不正常、開關(guān)未打開、繞組斷路或接地、電機(jī)過熱等。

　　解決方法：檢查電源電壓是否正常、開關(guān)是否打開，檢查繞組是否斷路或接地，等待電機(jī)冷卻后嘗試重新啟動(dòng)。

　　4、分子泵不工作

　　原因分析：前級(jí)壓力過高、電路板上的保險(xiǎn)絲燒斷、分子泵葉片或轉(zhuǎn)子被損害等。

　　解決方法：檢查導(dǎo)致前級(jí)壓力過高的項(xiàng)目并進(jìn)行處理，更換燒斷的保險(xiǎn)絲或檢查是否有短路現(xiàn)象，若分子泵葉片或轉(zhuǎn)子被損害，需更換新的分子泵。

　　5、燈絲無法正常啟動(dòng)

　　原因分析：機(jī)械泵、分子泵未處于正常工作狀態(tài)，離子源航空插座與接線柱開路或其接線柱與其他接頭導(dǎo)通造成短路。

　　解決方法：確保機(jī)械泵、分子泵處于正常工作狀態(tài)，檢查離子源航空插座與接線柱是否開路，若開路則更換燈絲，若不開路則檢查其接線柱與其他接頭是否導(dǎo)通，消除短路現(xiàn)象。

　　6、本底信號(hào)雜亂波動(dòng)

　　原因分析：放大器出現(xiàn)故障。

　　解決方法：由專業(yè)人員對(duì)放大器進(jìn)行檢查和維修。

　　7、檢漏鍵無效

　　原因分析：燈絲沒有啟動(dòng)或燈絲斷、I/O短接插頭未插入儀器后面插座。

　　解決方法：檢查燈絲是否啟動(dòng)或斷裂，若斷裂則更換燈絲；確保I/O短接插頭插入儀器后面插座。

　　8、自動(dòng)校準(zhǔn)失敗

　　原因分析：自動(dòng)校準(zhǔn)設(shè)置錯(cuò)誤、溫度傳感器未接上、靈敏度問題等。

　　解決方法：檢查自動(dòng)校準(zhǔn)設(shè)置是否正確，確保溫度傳感器已接上，清洗質(zhì)譜室以提高靈敏度。

　　9、工裝設(shè)計(jì)不合理導(dǎo)致檢漏通不過

　　原因分析：工裝結(jié)構(gòu)不合理、內(nèi)表面太粗糙、密封設(shè)計(jì)不合理等。

　　解決方法：重新設(shè)計(jì)工裝，使其結(jié)構(gòu)合理、內(nèi)表面光滑、密封可靠。

　　10、操作不合理導(dǎo)致故障

　　原因分析：操作人員判斷錯(cuò)誤導(dǎo)致大量氦氣進(jìn)入質(zhì)譜室造成污染。

　　解決方法：清理質(zhì)譜室并反復(fù)吸氣排氣以去除污染。